共享仪器平台
搜索
关闭
微区分析
聚焦离子电子双束系统
联系人：刘惠普
联系邮箱：hpliu@fudan.edu.cn
放置地点：江湾校区二号交叉学科楼负一楼材料能源学院共享仪器平台02室
基础信息
设备型号：Scios 2 HiVac
设备厂家：赛默飞世尔（ThermoFisher Scientific）
主要规格及技术指标：电子束分辨率：≤1.0 nm@15 kV，≤1.4 nm@1 kV。加速电压：200 V-30 kV，电子束电流范围：1.5 pA-400 nA。离子束交叉点分辨率：≤3 nm@30 kV，加速电压：500 V–30 kV，束流强度：1.5 pA–65 nA。最大样品高度：距共心点85 mm。五轴马达驱动全对中样品台移动范围：X≥100 mm，Y≥100 mm(重复精度小于2微米)，Z方向移动范围≥60 mm，可绕Z轴旋转任意角度：360度，倾斜角度范围：-15°到+90°，样品室内直径≥370 mm。
主要功能及特色：用于微观结构的显微观察、分析及加工，可进行定点的截面、3维观测及高质量TEM样品制备，同时具备高性能的EDS（X射线能谱）-EBSD（电子背散射衍射）系统，可对样品的元素信息和晶体学信息高效准确表征。具备镓液态(Ga)离子源，独立的Pt、W和C三路气体沉积系统，样品仓内等离子体清洗，纳米机械手，Ar离子抛光系统，原位微反应系统，液氮制冷台。
收费标准：
DMAX