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结构与成分分析
X射线光电子能谱仪
联系人：刘园园
联系邮箱：liuyy@fudan.edu.cn
放置地点：江湾校区二号交叉学科楼负一楼材料能源学院共享仪器平台02室
基础信息
设备型号：PHI GENSIS 500
设备厂家：爱发科费恩斯（ULVAC-PHI）
主要规格及技术指标：进样室真空度：1.2×10-6 Pa；样品在进样室导入分析室的时间≤5 min；分析腔室最佳真空度≤6.7×10-8 Pa。X射线聚焦束斑直径：5.0 μm~400 μm连续可调，调节步长≤0.5 μm。全自动五轴样品台可实现X、Y、Z方向的移动、倾斜和旋转。分析室内有多个样品停放台，可以连续自动测量。X移动范围：≥75 mm，Y移动范围：≥75 mm，Z移动范围：≥20 mm。能量分辨率（正常工作条件下）：对Ag3d5/2峰，半峰宽（FWHM）≤0.48 eV。
主要功能及特色：单色化XPS、微区XPS、离子散射谱ISS、反射电子能量损失谱REELS、紫外光电子能谱UPS、角分辨XPS、俄歇电子能谱AES、Al-Mg双阳极和冷热台等。
收费标准：
DMAX